中微半导体闯关IPO

IC007 2019-1-17 24小时 97 0 喜欢 (1)

中微半导体离IPO之路再进一步。

1月11日,中微半导体已向上海监管局提交IPO辅导备案,辅导机构为海通证券、长江证券。

公开资料显示,中微半导体成立于2004年5月,注册资本4.81亿元,法定代表人尹志尧,目前无实际控制人。截至该申请提交日,中微半导体持股5%以上股东包括上海创投20.02%、巽鑫投资19.39%、南昌智微6.37%、置都投资5.48%、中微亚洲5.15%。

中微半导体主要从事半导体设备的制造、销售业务,在等离子刻蚀机、MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)等方面打破了国外的垄断,并进入到5nm工艺设备研发。

据快芯网了解,目前以半导体设备概念上市的企业并不多,涉及蚀机设备的就仅有北方华创(002731.SZ),不过就刻蚀机产品而言,北方华创以硅刻蚀为主,中微半导体以介质刻蚀为主。

值得一提的是,在集成电路刻蚀机领域,中微半导体获得多重荣耀于一身。

中微半导体不仅是研制出第一台电介质刻蚀机中国大陆企业,也是国家大基金成立后投资的首个企业。其推出的芯片介质刻蚀设备已打入全球顶级企业台积电的7nm、10nm量产线,并占据了中芯国际50%以上的新增采购额。2018年中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,用于全球首条5纳米制程生产线。目前,中微半导体与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起,组成了全球五大刻蚀设备供应商。

另外,在LED芯片设备领域,其自主研发的MOCVD设备也一举打破了美德垄断,成为全球MOCVD设备领域的两强之一。

5纳米等离子体刻蚀机获台积电验证

半导体芯片是信息化时代基石,也是当今尖端制造的制高点。芯片生产有十大类设备,一千多个步骤才能生产出来。世界水平在10nm到7nm器件量产阶段,国内落后却仍处于28nm量产水平。

中国每年进口芯片超2000亿美元超过原油等其他产品,这是中国输不起的一个领域。

刻蚀机是芯片制造及微观加工的最重要设备之一。采用等离子体刻蚀技术,利用活性化学物质在硅片上刻蚀微观电路。7nm制程相当于头发丝直径万分之一,是目前人类能够在大生产线上制造出的最小集成电路布线间距,这接近了微观加工极限。

中微半导体CEO尹志尧曾经对媒体形容说:“在米粒上刻字的微雕技艺上,一般能刻200个字已经是极限,而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺,相当于可以在米粒上刻10亿个字的水平。”

长期以来,蚀刻机的核心技术一直被国外厂商垄断,而中微半导体从65nm等离子介质蚀刻机开始,45nm、32nm、28nm、16nm、10nm一路走下来,7nm蚀刻机也已经运行被客户采用,5nm蚀刻机也已经被台积电验证,用于全球首条5纳米制程生产线。

不过需要注意的是,中微搞定了5nm蚀刻机并不代表台积电就可以直接用来生产5nm制成了,因为蚀刻机只是众多工艺中的一个环节而已,而最重要的光刻机,台积电仍然需要从荷兰ASML进口。

在过去,由于大陆并不具备可量产半导体刻蚀设备的能力,基本上都是依靠进口,而美欧等国为防止中国半导体产业的进步,多年以来一直对该领域实行技术封锁。

不过,2015年之后,中国本土逐渐成长出了以中微半导体为代表的多家半导体刻蚀设备供应商(比如主攻硅刻蚀和金属刻蚀的北方华创等),且因中微在等离子体刻蚀机的质量和数量上逐渐比肩国际大厂,跻身一线水平,美国商务部也因此取消了对中国刻蚀机的出口管制。

中微半导体与美国Veeco的知识产权纠纷案

2018年年初,中国海关基于中微的第 CN 202492576 号专利采取了知识产权保护措施,暂时扣押了 美国维易科精密仪器有限公司(简称“Veeco”) Asia 公司进口至中国的两台涉嫌侵犯中微专利的 EPIK700 型号的MOCVD设备,货值达 3400 万元。

时间要从2017年 4 月 说起,当时Veeco 在美国纽约东区的联邦法院对西格里碳素(SGL)(简称“SGL”)展开了专利侵权诉讼,而 SGL 是中微半导体的晶圆承载器供应商。同年 11 月初,美国纽约东区地方法院同意了 Veeco 针对 SGL 的一项初步禁令请求,该禁令禁止 SGL 出售供采用了 Veeco 专利技术的无基座金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)使用的晶圆承载器,包括专为中微 MOCVD 系统设计的晶圆承载器。

在 Veeco 美国方面发起针对 SGL 的诉讼后,中微半导体方面迅速做出回应。

2017 年 7 月,中微半导体向福建高院正式起诉 “Veeco上海”,指控其 TurboDisk EPIK 700 型号的 MOCVD 设备侵犯了中微的晶圆承载器同步锁定的中国专利,要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。2017年12 月初,福建高院同意中微半导体针对 Veeco 上海的禁令申请,该禁令禁止 Veeco 上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微专利的石墨盘产品。

经过一年多的专利诉讼之后,终于在 2018 年 2 月 9 日,Veeco、中微半导体和 SGL 共同宣布,同意就三方之间的未决诉讼达成和解,并友好地解决所有的未决纷争,包括中微在福建高院针对 Veeco 的诉讼和 Veeco 在美国纽约东区地方法院针对 SGL 的诉讼。

不可否认,要想实现半导体芯片国产化,首先就要实现半导体设备国产化,近年来北方华创、中微半导体以及屹唐半导体等在产品和技术上都取得了不俗的进展,也得到了台积电、台联电以及中芯国际等企业的认可,如果中微半导体能够顺利登录A股,也将给其他半导体设备企业,树立一个新的目标。

转载请注明来自快芯网,本文标题:《中微半导体闯关IPO》

喜欢 1 发布评论
发表评论

您必须 [ 登录 ] 才能发表留言!

Top